Y2T123 硅基上異質生長三五材料

光通信女人2018-12-16 14:33:18

昨天,Shinji聊他的LEAP激光器,高大上的理論我還想不透,看看工藝,硅基上異質生長三五族材料的工藝過程。





刻蝕,那一道道灰白相間的就是量子阱





當然,你的硅襯底足夠大,做taper


覆膜,成SSC


不聊天,----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------


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